高分辨率臺(tái)式掃描電鏡
光學(xué)顯微鏡：放大 20-135 倍； 電子顯微鏡：130,000 倍；
探測(cè)器：高靈敏度四分割背散射電子探測(cè)器；
燈絲材料：1,500 小時(shí) CeB6 燈絲；
分辨率：優(yōu)于 14 nm；
放置環(huán)境：采用專業(yè)防震設(shè)計(jì)，可擺放于普通實(shí)驗(yàn)室或辦公室、廠房；
加速電壓：5kV-15kV 連續(xù)可調(diào)；
抽真空時(shí)間：小于 15 秒。
技術(shù)特點(diǎn)：
自動(dòng)高亮度電子槍，全數(shù)字化高壓電源，0.5KV~30KV范圍內(nèi)隨意調(diào)節(jié)；
聚光鏡精細(xì)控制 Spot size設(shè)置10檔調(diào)節(jié)；
圓錐形物鏡，具有更高分辨性能；
四孔可變光闌，分別用于高分辨觀察和不同的分析目的；
實(shí)時(shí)灰度直方圖，自動(dòng)亮度對(duì)比度；
X Y T, 3軸自動(dòng)樣品臺(tái)。
高分辨率臺(tái)式掃描電鏡 打破了傳統(tǒng)臺(tái)式掃描電鏡采用BSD探測(cè)器成像的局限性，利用創(chuàng)新的 雙聚光鏡成像技術(shù)，采用大型掃描電鏡成像原理，使用二次電子探測(cè)器作為基礎(chǔ)成像單元，從而可以獲得更高的分辨率（<8nm），是真正意義上的高分辨率臺(tái)式掃描電鏡。
