掃描電鏡從原理上講就是利用聚焦得非常細(xì)的高能電子束在試樣上掃描，激發(fā)出各種物理信息。通過對(duì)這些信息的接受、放大和顯示成像，獲得測(cè)試試樣表面形貌的觀察。掃描電子顯微鏡由電子光學(xué)系統(tǒng)，信號(hào)收集及顯示系統(tǒng)，真空系統(tǒng)及電源系統(tǒng)組成。
環(huán)境適應(yīng)性高，*防震 Phenom（飛納）可以放置在幾乎所有的室內(nèi)環(huán)境當(dāng)中，無需超凈間。采用燈絲、探測(cè)器、樣品臺(tái)相對(duì)一體化的設(shè)計(jì)，震動(dòng)不會(huì)引起三者間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)，使 Phenom 成像不受震動(dòng)影響，可放置在較高樓層。
臺(tái)式掃描電鏡具有體積小巧、操作簡(jiǎn)便、價(jià)格便宜，zui大放大倍數(shù)在100,000倍左右，快速抽真空，不用噴金測(cè)量不導(dǎo)電樣品等優(yōu)勢(shì)。此類新型儀器的出現(xiàn)*光學(xué)顯微鏡與傳統(tǒng)大型掃描電子顯微鏡之間的間隙，可廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、納米顆粒、生物醫(yī)學(xué)、紡織纖維、地質(zhì)科學(xué)等諸多領(lǐng)域。
臺(tái)式掃描電鏡價(jià)格便宜也有優(yōu)點(diǎn)，優(yōu)點(diǎn)是
①有較高的放大倍數(shù)，20-20萬倍之間連續(xù)可調(diào)；
②有很大的景深，視野大，成像富有立體感，可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細(xì)微結(jié)構(gòu)；
③試樣制備簡(jiǎn)單。
目前的掃描電鏡都配有X射線能譜儀裝置，這樣可以同時(shí)進(jìn)行顯微組織性貌的觀察和微區(qū)成分分析，因此它是當(dāng)今十分有用的科學(xué)研究?jī)x器。
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