相較于大型落地式電鏡，
高分辨率臺式掃描電鏡體積較小，占用空間少，便于放置在實驗室的桌面上，無需專門的大型設(shè)備房間和復(fù)雜的安裝調(diào)試過程，在空間有限的實驗室環(huán)境中使用更加靈活，為科研人員提供了便利。
相比傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡，它具有更高的分辨率，能夠觀察到更小尺寸的細(xì)節(jié)，有助于科研人員深入研究微觀世界的精細(xì)結(jié)構(gòu)。它能夠直接觀察非導(dǎo)電樣品，而傳統(tǒng)電子顯微鏡通常需要對樣品進(jìn)行金屬涂層處理，這一特性大大簡化了樣品制備流程，節(jié)省了時間和成本。
具有較大的深度焦點，使得觀察三維結(jié)構(gòu)更加方便，能夠呈現(xiàn)出強(qiáng)烈的立體感，讓科研人員更直觀地了解樣品的表面形態(tài)和結(jié)構(gòu)特征。操作相對簡單，不需要復(fù)雜的培訓(xùn)即可上手，且設(shè)備采購和維護(hù)成本較低，適合實驗室常規(guī)使用，能夠提高科研效率，降低研究門檻。
高分辨率臺式掃描電鏡的使用注意事項：
1.安全防護(hù)方面
-防輻射傷害：雖然臺式掃描電鏡的輻射劑量相對較低，但仍需嚴(yán)格遵守操作規(guī)程，避免長時間直接暴露在電子束下。在操作過程中應(yīng)佩戴防護(hù)眼鏡、手套等個人防護(hù)裝備，特別是在調(diào)整光路、更換燈絲等涉及高能電子的操作時更要格外小心。
-電氣安全：確保設(shè)備的接地良好，防止漏電事故的發(fā)生。不要隨意觸摸設(shè)備的高壓部件和線路接口，以免觸電危險。在進(jìn)行任何維護(hù)或修理工作之前，務(wù)必先切斷電源并等待設(shè)備充分放電后再進(jìn)行操作。
2.樣品相關(guān)注意事項
-樣品兼容性：了解儀器對樣品的要求和限制，包括尺寸、形狀、重量、材質(zhì)等方面。某些特殊類型的樣品可能需要特殊的處理方法或夾具才能進(jìn)行觀察。例如，對于磁性樣品，可能會影響電子束的運動軌跡，需要進(jìn)行特殊的屏蔽處理；對于易揮發(fā)性的樣品，要注意控制環(huán)境溫度和濕度，防止樣品在真空環(huán)境中揮發(fā)損失。
-避免污染：保持樣品本身的清潔，避免引入外來污染物。在使用工具夾取樣品時要確保工具干凈無油污，防止將雜質(zhì)帶到樣品上。另外，定期清理樣品室內(nèi)部的灰塵和碎屑也非常重要，這些污染物可能會附著在樣品表面或散落到光學(xué)元件上，影響成像質(zhì)量和設(shè)備性能。
3.操作規(guī)范要點
-穩(wěn)定環(huán)境條件：盡量保持實驗室環(huán)境的穩(wěn)定，避免溫度、濕度大幅波動以及震動等因素對儀器精度的影響。劇烈的溫度變化可能導(dǎo)致熱脹冷縮效應(yīng)，引起機(jī)械部件變形；濕度過高會使電氣元件受潮短路；震動則可能干擾電子束的穩(wěn)定性，降低分辨率。因此，建議將電鏡放置在恒溫恒濕且防震的工作臺上。
-正確操作順序：嚴(yán)格按照儀器的操作手冊規(guī)定的步驟進(jìn)行操作，不要跳過任何必要的環(huán)節(jié)。例如，在改變加速電壓或束流大小時，應(yīng)逐步調(diào)整并觀察圖像變化情況，避免突然大幅度改變參數(shù)導(dǎo)致圖像質(zhì)量下降甚至損壞樣品。同時，在裝卸樣品時要輕拿輕放，防止碰撞損壞樣品臺或其他部件。
4.日常維護(hù)與保養(yǎng)
-定期校準(zhǔn)與檢測：定期對電鏡的各項性能指標(biāo)進(jìn)行校準(zhǔn)和檢測，如分辨率、放大倍數(shù)準(zhǔn)確性、像散系數(shù)等?？梢允褂脴?biāo)準(zhǔn)樣品或內(nèi)置的標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)來進(jìn)行校準(zhǔn)驗證，確保儀器始終處于良好的工作狀態(tài)。如果發(fā)現(xiàn)性能下降或異常情況，應(yīng)及時聯(lián)系專業(yè)技術(shù)人員進(jìn)行維修調(diào)試。
-清潔與潤滑：定期清理電鏡內(nèi)部的灰塵、污垢和油污等雜質(zhì)，特別是光學(xué)鏡片、電子槍陰極等關(guān)鍵部件要保持高度清潔。對于運動部件如導(dǎo)軌、絲桿等可以適當(dāng)添加潤滑油脂，保證其運行順暢。但要注意選擇合適的清潔劑和潤滑油脂，避免使用不當(dāng)造成腐蝕或損壞。
5.數(shù)據(jù)處理與解讀謹(jǐn)慎性
-客觀評估結(jié)果：認(rèn)識到掃描電鏡圖像只是二維投影信息，可能存在假象或誤解的情況。在分析圖像時要考慮多種因素的綜合影響，如樣品制備過程引起的偽影、荷電效應(yīng)導(dǎo)致的圖像畸變等。結(jié)合其他表征手段如透射電鏡、X射線衍射等進(jìn)行綜合分析，以提高結(jié)論的可靠性。
-合理選擇參數(shù)范圍：在不同的應(yīng)用場景下，需要合理選擇加速電壓、工作距離、探針電流密度等參數(shù)范圍。過高或過低的參數(shù)都可能無法真實反映樣品的特性。例如，過高的加速電壓會增加電子穿透深度，可能導(dǎo)致深層信息掩蓋表層細(xì)節(jié)；而過低的探針電流密度則可能使信號強(qiáng)度不足，影響圖像的信噪比。
