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一、能譜定量不準(zhǔn)確的原因
能譜（EDS）結(jié)合掃描電鏡使用，能進(jìn)行材料微區(qū)元素種類(lèi)與含量的分析。其工作原理是：各種元素具有自己的X 射線特征波長(zhǎng)，特征波長(zhǎng)的大小則取決于能級(jí)躍遷過(guò)程中釋放出的特征能量E，能譜儀就是利用不同元素X 射線光子特征能量不同這一特點(diǎn)來(lái)進(jìn)行成分分析的。
能譜定量分析的準(zhǔn)確性與樣品的制樣過(guò)程，樣品的導(dǎo)電性，元素的含量以及元素的原子序數(shù)有關(guān)。因此，在定量分析的過(guò)程中既有一些原理上的誤差（數(shù)據(jù)庫(kù)及標(biāo)準(zhǔn)），我們無(wú)法消除，也有一些人為因素產(chǎn)生的誤差（操作方法），這些因素都會(huì)導(dǎo)致能譜定量不準(zhǔn)確。
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